輸送系統(tǒng)包括供液泵、過濾器、流量計等，由于氣動隔膜泵或氣動氣囊泵采用壓縮空氣作為動力源，具有剪切力小、流量大、揚程高、無火花、無熱量等特點。因此，作為供液泵，它用于輸送各種腐蝕性液體、含顆粒液體、高粘度、易揮發(fā)、易燃、劇毒液體。根據(jù)化工液體的不同特性，可選用PP、PVDF、PTFE、不銹鋼等不同材質(zhì)的氣動泵。為減少氣動泵引起的化學(xué)液脈動，可加入泵緩沖液當(dāng)化學(xué)溶液對清潔度要求較高時，可在CDS中加入循環(huán)系統(tǒng)和過濾器，使原液達到過濾和攪拌的目的。流量傳感器的作用是管控供液量，提高供液精度。根據(jù)化學(xué)溶液的特性和工藝要求，選擇相應(yīng)的物料過濾器。

兩個特點：一是供應(yīng)系統(tǒng)不污染供應(yīng)的化學(xué)品；二是配合生產(chǎn)線不間斷供應(yīng)

三個化學(xué)系統(tǒng)：化學(xué)研磨液系統(tǒng)、有機溶劑系統(tǒng)、酸堿系統(tǒng)

化學(xué)分散模塊位于廠區(qū)內(nèi)，一般與生產(chǎn)線在同一棟樓、不同樓層。它由泵、閥門、過濾器等設(shè)備組成。其主要功能是將化學(xué)品從容器輸送到管道供應(yīng)系統(tǒng)。管道供應(yīng)部分負(fù)責(zé)將化學(xué)品從化學(xué)品室輸送至無塵室的閥箱，閥箱主要由管道和閥箱（VMB）組成。它連接化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)的源頭——供應(yīng)柜和末端——二次分配。管道包括閥門和管件。由于PFA的雜質(zhì)沉淀少，化學(xué)穩(wěn)定性好，可以通過焊接或脹管連接。因此，PFA氣動隔膜閥及管件在CDS中得到了廣闊的應(yīng)用。管件的選擇主要考慮防腐和運輸安全問題。供液管道一般采用雙套管輸送。鋪設(shè)管道時，應(yīng)具有一定的傾斜角度，以便于檢查和檢測液體泄漏?；瘜W(xué)液體在內(nèi)管內(nèi)輸送時，如果內(nèi)管發(fā)生泄漏，化學(xué)液體將沿內(nèi)外管間隙流向供液柜，檢漏傳感器檢測到后發(fā)出報警，以便及時處理，防止不安全的狀況的發(fā)生。酸堿化工供液管內(nèi)管采用PFA材料，外管采用透明三菱PVC或PFA材料。內(nèi)管采用SUS316材料，外管采用PFA材料。為了提高系統(tǒng)的可靠性，應(yīng)減少管道長度和管道接頭數(shù)量。

① 在供應(yīng)柜、閥箱和儲罐底部安裝檢漏儀。② 管道設(shè)計為雙套管。如果內(nèi)管泄漏，化學(xué)品將沿著內(nèi)管和外管之間的間隙流向閥箱或供應(yīng)柜，然后安裝在此處的泄漏探測器觸發(fā)報警。③ 罐頂安裝安全閥，氮氣進口安裝泄壓閥。如果壓力過高，那么壓力將自動釋放。④ 在一些易揮發(fā)化學(xué)品的供應(yīng)柜和閥箱上安裝工藝排氣管。如果極少量的化學(xué)品泄漏到空氣中，可以及時排放，確保人身安全。⑤ 在儲罐周圍設(shè)置圍欄或溝槽，并與坑相連。如果有液體進入坑內(nèi)，會自動排出并報警。